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千級潔凈室標準規格說明（一） 

  目前世界各國雖有自訂規格，但普遍還是采用美國聯邦標準209為多，今就209D及209E和世界上其他各國之所訂標準再做更進一步之介紹與相互比較。表1-1為美國聯邦標準209D之潔凈室規格。

  至于209E和209D等最大之不同點在于209E表示單位增加了公制單位，即潔凈室等級以“M”字頭表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此類推，其目的在于配合國際公制單位之標準化。M字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中≧0.5um之微塵粒子數目字以10的冪次方表示，而取指數為之；若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間（即非整數，則以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1-2即為1992年9月新頒布之美國聯邦標準209E之內容，前述之M字母后的數字，可從表中0.5um列的數值中求出，讀者可試算之。

潔凈度等級

微塵粒子

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

5um

單位

單位

單位

單位

單位

公制

英制

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

(m³)

(ft³)

M1

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M1.5

1

1240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M2

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

-

-

M3

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

-

-

M3.5

100

-

-

26500

750

10600

300

3530

100

-

-

M4

-

-

75700

2140

30900

875

10000

283

-

-

M4.5

1000

-

-

-

-

-

-

35300

1000

247

7.00

M5

-

-

-

-

-

-

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

-

-

-

-

-

-

353000

10000

2470

70.0

M6

-

-

-

-

-

-

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

-

-

-

-

-

-

3530000

100000

24700

700

M7

-

-

-

-

-

-

10000000

283000

61800

1750

  美國聯邦標準FS 209D 都以英制每立方英尺為單位，而日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位；另外209D與日本JIS（B9920-1989）標準中另一不同點為209D是以0.5um之粒子數為計數基準，而日本則以0.1um微粒子為計數標準。日本標準之表示法是以Class1,Class2,Class3,......Class8表示，即最好之等級為Class1,最差則為Class8,表1-3為日本JIS（9920-1989）之標準規定的粒子上限數（個/m³）。其Class1，Class2...之數目字以0.1um粒子為基準，而以每立方公尺中微塵粒子總數中化為10之冪次方，取其指數而得。

粒徑級數

Class1

Class2

Class3

Class4

Class5

Class6

Class7

Class8

0.1

10¹

10²

10³

10⁴

10⁵

10⁶

10⁷

10⁸

0.2

2

24

236

2，360

23，600

-

-

-

0.3

1

10

101

1，010

10，100

101，000

1，010，000

10，100，000

0.5

-

-

35

350

3，500

35，000

350，000

3，500，000

5.0

-

-

-

-

29

290

2，900

29，000

資料來源：Clean Room Technology By Crystal Cs. The Nederlands

潔凈室標準規格說明（二）

  在德國工業及醫學等之多數領域中，潔凈室是為相關產業界所重視和期望發展之技術，因此在1967年完成了德國的潔凈室規格，在德國規格中潔凈室等級之表示法與美國規格不同，其表示法是以4*10”的形式表示粒徑0.5um以上之粒子數，而以其中之指數n規定等級，如4*10³ 即表示等級為3，此等級與美國聯邦規格Class100想近似。表1-4為德國規格所容許之粒子數與美國、法國、近似等級之表示。

等級

微塵粒徑(um)

與別國等級比較

0.5

1

5

美國

法國

3

4*10³

1*10³

-

100

4000

4

4*10⁴

1*10⁴

0.03*10⁴

-

-

5

4*10⁵

1*10⁵

0.03*10⁵

10000

400000

6

4*10⁶

1*10⁶

0.03*10⁶

100000

4000000

表1-5為美國聯邦標準209D標準粒子之數目上限值（個/ft³）（以0.5u粒子為依準）。由于美國與日本之規格中所表示之單位分類不同，為讓使用人員有一快速之獲知二者之相近標準等級，以期運用于工作上，故有必要將二者之間做一潔凈度級別之換算，如表1-6

等級

Class1

Class10

Class100

Class1000

Class10，000

Class100，000

0.1

35（1，225）

350（12，250

-

-

-

-

0.2

7.5（263）

75（2，630）

750（26，300）

-

-

-

0.3

3（105）

30（1，050）

300（10，500）

-

-

-

0.5

1（35）

10（350）

100（3，500）

1000（35，000）

10，000（350，000）

100，000（3，500，000）

5.0

-

-

-

7

70

700

*（）內之數值單位：個/M³。

日本

美國

級別3

Class 1

級別4

Class 10

級別5

Class 100

級別6

Class 1000

級別7

Class 10000

級別8

Class 100000

  除了美國、日本、德國、之潔凈室標準外，世界上尚有英國、法國、澳洲及韓國、中國大陸之規格，表1-6即為世界各國潔凈度等級規格之比較。

國名

美國

美國

日本

英國

德國

法國

澳洲

韓國

中國大陸

規格

FS209D

FS209E

JIS B 9920

BS 5295

VDI 2083

AFN 4410

AS 1386

KS

QJ2214

年度

1988

1992

1989

1989

1990

1981

1989

1991

1991

基準粒子(um)

0.5

0.5

0.1

0.5

1

0.5

0.5

0.3

0.1 0.5

單位

pcs/ft³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

pcs/M³

Class

-

-

1

-

-

-

-

M1

0.1um ~1

-

M1

2

-

0

-

-

M10

0.1um ~5

1

M1.5

3

C

1

-

0.035

M100

0.1um ~10

10

M2.5

4

D

2

-

0.35

M1000

1

100

M3.5

5

E or F

3

4,000

3.5

M10000

100

1000

M4.5

6

G or H

4

-

35

M100,000

1,000

10,000

M5.5

7

I

5

400,000

350

M1,000,000

10,000

100,000

M6.5

8

J

6

4,000,000

3500

M10,000,000

100,000

-

M7

-

K

7

-

-

-

-

-

-

-

L

-

-

-

-

-

*以0.5um為區別。